技術記事

クリーンルーム用リニアステージ：選定時の確認事項

1つのリニアステージ構成について、環境、粒子管理、動作要件を整理します。

クリーンルーム用ステージを選ぶ

必要な清浄度を定め、想定気流と運転サイクルで可動部全体を確認します。図面は形状を示します。粒子試験の根拠は対象構成と条件に一致する必要があります。

関連用途はMC10-Cの寸法図を示します。MC10カタログは別の型番資料です。その動作データと図面はMC10-C構成や清浄度を証明しません。

塗布、検査、ワーク位置決めでは、必要な移動量と移動荷重を具体的な駆動・取付構成と比較してください。クリーンルーム用途では、潤滑、清掃アクセス、想定する運転サイクルでの粒子試験も確認します。

目標清浄度クラスと、装置に組み込んだ状態での測定方法を示してください。工程、気流、運転サイクル、近くにある粒子発生源も含めてください。これらの条件によって、どのステージ資料が参考になるかが決まります。

駆動部、ガイド、カバー、シール、潤滑剤、ケーブル配線を一体の可動アセンブリとして確認してください。粒子が発生または滞留する可能性のある場所や、排気などの対策が設計に含まれるかを確認します。

ストローク、負荷、速度、取付方向、稼働率、清掃手順をまとめて提示してください。想定環境内で保守アクセス、部品交換、潤滑をどのように行うか確認してください。

提案するステージ構成と、実際の気流、吸引、動作条件で取得した粒子または清浄度の試験資料を依頼してください。試験方法と、再現時にカバー、シール、排気装置が必要かを確認してください。